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Effect of heat-treatment on phase formation and crystallization of sol–gel derived Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, ZrO<sub>2</sub>–Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, and Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub> oxide coatings
W2065803180 · 수집 2026-10-04 18:12:19
T10623 Thin-Film Transistor Technologies
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